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显示面板薄化主要是用化学蚀刻和物理研磨将面板模组和显示玻璃进行减薄处理，达到显示产品轻薄化的需求，通过对TFT-LCD面板的减薄可实现以下几点面板应用需求。

1.使用化学或物理方法使面板玻璃的厚度变小，以达到面板轻薄化的目的。

2.使显示屏重量减轻;提供更清晰明亮的画质。

3.减少占用空间，减少TFT-LCD模组的厚度，留出更多空间，如增加电池容量等。

4.使玻璃基板达到一定的柔性，生产曲面屏幕，增加更好的可视效果。

TFT-LCD玻璃减薄工艺流程

1、封胶工艺

防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响产品性能。

2、蚀刻减薄工艺

减薄原理方式：6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O液体+固体（玻璃）-液体

减薄方式：

1.多片直立浸泡式

优点：可以同时间处理多片玻璃。

缺点：装置大型。外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。

2.单片直立喷洒式

优点：可以满足两面不同蚀刻要求。多片

缺点：蚀刻表面易产生凹点。

3.瀑布流式

优点：表面最光滑，甚至可以不用抛光

减薄流程及设备主要组件：

流程：Loader---预清洗---蚀刻---清洗---干燥---Unloader

设备组件：供酸装置、HF酸浓度计、温度控制器、洗气装置

减薄工艺参数

1.反应时间与玻璃质量损失的关系

2.反应速率与反应温度的关系

3.反应速率与HF酸浓度的关系

说明：(HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。

3、研磨工艺

工艺流程：

减薄工艺自身不良

1、不可擦拭脏污

2.薄化不匀

3.Slimming后划伤

4.B-ITO不良

现象：ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀，类似产品表面水干燥后残留的印记。

原因：BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性。

5.电阻超标

原因：酸残留

与减薄有关的性耐性

1.冲击和跌落：对LCM进行冲击和跌落。对LCM进行显示检查和外观检查。

2.玻璃基板表面蚀刻状况确认：将其放入冷热交替的冷热槽中对LCM进行显示检查和显微镜Glass外观检查TFT。

3.TFT端子部腐蚀状况的确认：高温高湿的老化槽内进行的持续老化。SEM对TFT端子部的表面和断面的观察分析。

文章来源：display技术

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