摘要

采用PHL-型平面高速研磨抛光系统,通过固结磨料研磨抛光方法进行了超精密加工K9玻璃试验研究。探讨了不同粒径和不同磨粒研磨抛光垫在加工中对K9玻璃材料去除率和表面质量的影响。获得了高效率、低成本、高质量的K9玻璃的超精密加工工艺:首先使用M20/30金刚石研磨垫研磨，然后使用3μumCeO2,抛光垫抛光。加工后K9玻璃的表面粗糙度优于RMS0.6nm,微观损伤少。

1.简介

随着国防工业和尖端技术的飞速发展,对脆性材料(如光学玻璃、陶瓷等)的超精密加工需求日益增多，而化学机械抛光是获得精密光学器件的最终加工手段和有效方法。固结磨料研磨拋光技术具有磨粒利用率高、对环境友好、材料去除率合理、被加工工件表面质量易控制等优点，越来越受到

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